
|
包号
|
设备名称
|
数量
|
是否允许采购进口产品
|
|
1
|
半自动清洗机
|
1套
|
否
|
|
2
|
扩散炉系统
|
1套
|
否
|
|
3
|
多晶硅低压化学气相淀积系统
|
1套
|
是
|
|
4
|
膜厚仪
|
1套
|
是
|
|
5
|
等离子氮化系统
|
1套
|
是
|
|
等离子化学增强气相淀积
|
1套
|
是
|
|
|
硅化物热退火系统
|
1套
|
是
|
|
|
接触与互连溅射台
|
1套
|
是
|
|
|
快速热退火系统
|
1套
|
是
|
|
|
钨化学气相沉积系统
|
1套
|
是
|
|
|
6
|
多晶硅刻蚀机
|
1套
|
否
|