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| 微系统技术 |
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书 名 |
微系统技术 |
| 定 价 |
38.0000 |
| 作 者 |
［德］W.Menz J．Mohr O.Paul 付建军 等审 |
| 开 本 |
32 |
| 书 号 |
7-5025-4692-8 |
| 机 号 |
null |
| 装 帧 |
平膜 |
| 加入日期 |
2003-09-01 00:00:00.0 |
| 点击数：24 |
版 次 |
1版1次 |
| 本书是德国WILEYVCH出版社“Microsystem Technology”一书的中译本，讲述微系统技术领域内的相关内容。全书分为10章，前4章介绍微系统技术的基础知识、如微系统与微结构间的相互关系、单晶硅的生产、微系统技术的物理和化学基础等；5～１０章为本书核心，详细介绍微系统技术的基本工艺方法，包括光刻技术、硅技术、LIGA技术(X射线电镀成型)、封装技术等。 |
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