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| 微电子机械系统 |
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书 名 |
微电子机械系统 |
| 定 价 |
28.0000 |
| 作 者 |
姜岩峰 编著 |
| 开 本 |
16 |
| 书 号 |
7-5025-8158-8 |
| 机 号 |
null |
| 装 帧 |
平 |
| 加入日期 |
2006-03-01 00:00:00.0 |
| 点击数：25 |
版 次 |
1版1次 |
本书介绍了微电子机械系统（MEMS）相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部分，首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法，然后介绍了MEMS中的主要工艺，在此基础上，系统介绍了MEMS系统中的传感器，包括传感器的原理、结构和实现方法，另外对MEMS器件的使用方法和应用范围进行了讨论，最后阐述了MEMS系统仿真方面的内容。
本书适合于高等院校微电子专业本科生或研究生教学参考使用，也可供从事MEMS领域研究的科技人员参考。
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