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公司名称：
北京中西远大科技有限公司成都办事处
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参考价格：
未标明
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发布时间：
2012-07-03
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| 产品描述： |
| （金属密封型）质量流量计控制器
流量范围： 10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制阀： 常闭，电磁隔膜阀
反应时间： 满量程2%范围内≤1.5秒
精度： ±1%以内
线性： ±0.5%以内
重复性： ±0.2%以内
使用压差： 范围≤5SLM时，49～294KPA
5SLM <范围≤20SLM时，98～294KPA
压力限制： 980KPA
泄露率： 1×10–11 Pa.m3/second 或更小
操作温度： 0～50°C
接触介质的材质： SUS316L，Au,PTFE
连接： 1/4VCR,可选1/4SWL
控制信号： 0-5VDC
输出信号： 0-5VDC
电源+15 VDC (±15%)100 mA，–15 VDC(±15%)200 mA
安装方向： 任何方位
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M231906（金属密封型）质量流量计控制器 的详细介绍
（金属密封型）质量流量计控制器
流量范围： 10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制阀： 常闭，电磁隔膜阀
反应时间： 满量程2%范围内≤1.5秒
精度： ±1%以内
线性： ±0.5%以内
重复性： ±0.2%以内
使用压差： 范围≤5SLM时，49～294KPA
5SLM <范围≤20SLM时，98～294KPA
压力限制： 980KPA
泄露率： 1×10–11 Pa.m3/second 或更小
操作温度： 0～50°C
接触介质的材质： SUS316L，Au,PTFE
连接： 1/4VCR,可选1/4SWL
控制信号： 0-5VDC
输出信号： 0-5VDC
电源+15 VDC (±15%)100 mA，–15 VDC(±15%)200 mA
安装方向： 任何方位
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