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超纯水电导率≤0.055μS/cm@25℃；电阻率：18.3ΜΩ·cm@25℃
达到美国CAP、ASTM、NCCLS标准
微粒子（大于0.05μm）含量：﹤1/ml 热源含量：﹤0.001Eu/ml
微生物含量：﹤1cfu/ml 总有机碳量TOC：1—3ppb
金属阳离子含量（单位ppb）：
Fe(铁) ﹤0.005 Cu(铜) ﹤0.005 Al(铝) ﹤0.005 Ni(镍) ﹤0.005
Zn(锌) ﹤0.02 Cr(铬) ﹤0.005 Na(钠) ﹤0.01 K(钾) ﹤0.02
阴离子含量（单位ppb）:
Clˉ(氯) ﹤0.01 NO2ˉ(亚硝酸根) ﹤0.02
NO3ˉ(硝酸根) ﹤0.02 SO4²ˉ(硫酸根) ﹤0.01
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