的微波，沿矩形波导管传输，在水冷谐振腔反应室内激励气体形成轴对称的等离子体球。
可完成以下实验：微波等离子体化学气相沉积法制备多种功能薄膜材料、微波等离子体刻蚀加工实验、材料表面改性和清洗等；适合大学物理、材料、化学等领域的学生实验及教师科学研究。
获国家实用新型专利:ZL 2006 2 0102055.4 荣获2008年全国高校物理实验仪器评比二等奖 www.5117dxy.com
注：图片及文字介绍仅供参考，请以实物为准
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