真空泵是提高过滤效率、加强脱气效果的重要过滤配套设备。为保障过滤介质不被污染，一般均使用无油隔膜式真空泵。此类泵型的真空压力一般在0.08 Mpa左右（单级）。提高过滤速度关键是单位时间内的排气量，即真空泵的流量指标，在过滤量大、介质粘度高时颗粒堵塞滤膜情况下尤显突出。 
    真空泵的使用寿命，除取决于正确的使用方法外（如减少人为的连续开机，防止溶剂抽入泵体等），主要还在于电机功率合理和真空膜的设计形式及抗疲劳性。