资料介绍
自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪 型号：TP-TPY-2
产品特点：
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。
仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。
规格与主要技术指标：
测量范围：薄膜厚度范围1nm-4000nm 折射率范围：1-10
测量最小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05°
度盘刻度：每格1度 允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器步进角：0.014°/步 偏振器方位角范围：0°- 180°
测量膜厚和折射率重复性精度分别为：0.5nm和0.005
仪器测量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时）
光学中心高度：80mm
成套性：主机、电控系统、USB接口、配套软件（需配计算机）
主机重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm
装箱单
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序号
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名 称
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规格或型号
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数量
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备 注
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1
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自动椭圆偏振测厚仪主机
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TP-TPY-2
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1台
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2
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主机电控箱
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TP-TPY-2
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1台
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3
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Q9连接线
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1根
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4
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数据连接线
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1根
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5
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电源线
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2根
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6
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15线连接电缆
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1根
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7
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USB连接电缆
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1根
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8
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二氧化硅膜样片
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1张
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９
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软件安装盘
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TP-TPY-2
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1张
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10
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使用说明书
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TP-TPY-2
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1份
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11
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装箱单
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TP-TPY-2
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1份
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12
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产品合格证
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TP-TPY-2
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1份
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北京恒奥德仪器仪表有限公司
联系方式：010-51658042/51760331/51717696
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