仪器介绍
CMI900X射线荧光镀层测厚仪，有着非破坏，非接触，多层合金测量，高生产力，高再现性等优点，在质量管理到不良品分析有着广泛的应用。用于电子元器件，半导体，PCB，汽车零部件，功能性电镀，装饰件，连接器等多个行业。
主要特点
样品种类：镀层、涂层、薄膜、液体(镀液中的元素含量)
可检测元素范围：Ti22 – U92
可同时测定5层/15种元素
精度高、稳定性好
强大的数据统计、处理功能
测量范围宽
NIST认证的标准片
全球服务及支持
技术参数
主要规格  规格描述 
X射线激发系统  垂直上照式X射线光学系统 
空冷式微聚焦型X射线管，Be窗 
标准靶材：Rh靶；任选靶材：W、Mo、Ag等 
功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)－标准       75W(4-50kV，0-1.5mA)－任选 
装备有安全防射线光闸 
二次X射线滤光片：3个位置程控交换，多种材质、多种厚度的二次滤光片任选 
准直器程控交换系统  最多可同时装配6种规格的准直器 
多种规格尺寸准直器任选： －圆形，如4、6、8、12、20 mil等 －矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等    
测量斑点尺寸  在12.7mm聚焦距离时，最小测量斑点尺寸为：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm准直器) 
在12.7mm聚焦距离时，最大测量斑点尺寸为：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm准直器) 
样品室  CMI900  CMI950 
－样品室结构  开槽式样品室  开闭式样品室 
－最大样品台尺寸  610mm x 610mm  300mm x 300mm 
－XY轴程控移动范围  标准：152.4 x 177.8mm 还有5种规格任选  300mm x 300mm 
－Z轴程控移动高度  43.18mm  XYZ程控时，152.4mm XY轴手动时，269.2mm 
－XYZ三轴控制方式  多种控制方式任选：XYZ三轴程序控制、XY轴手动控制和Z轴程序控制、XYZ三轴手动控制 
－样品观察系统  高分辨彩色CCD观察系统，标准放大倍数为30倍。50倍和100倍观察系统任选。 
激光自动对焦功能 
可变焦距控制功能和固定焦距控制功能 
计算机系统配置  IBM计算机 惠普或爱普生彩色喷墨打印机 
分析应用软件  操作系统：Windows2000中文平台 分析软件包：SmartLink FP软件包 
－测厚范围  可测定厚度范围：取决于您的具体应用。 
－基本分析功能  采用基本参数法校正。牛津仪器将根据您的应用提供必要的校正用标准样品。 
样品种类：镀层、涂层、薄膜、液体(镀液中的元素含量) 
可检测元素范围：Ti22 – U92 
    可同时测定5层/15种元素/共存元素校正 
贵金属检测，如Au karat评价 
    材料和合金元素分析， 
材料鉴别和分类检测 
液体样品分析，如镀液中的金属元素含量 
多达4个样品的光谱同时显示和比较 
元素光谱定性分析 
－调整和校正功能  系统自动调整和校正功能，自动消除系统漂移