原子力显微镜AFM探针:
探针的工作模式：主要分为 扫描(接触)模式和轻敲模式
探针的结构：悬臂梁+针尖
探针针尖曲率半径Tip Radius：一般为10nm到几十nm。
制作工艺：半导体工艺制作
常见的探针类型：
（1）、导电探针（电学）：金刚石镀层针尖，性能比较稳定
（2）、压痕探针：金刚石探针针尖（分为套装和非套装的）
（3）、氮化硅探针：接触式（分为普通的和锐化的）
（4）、磁性探针：应用于MFM，通过在普通tapping和contact模式的探针上镀Co、Fe等铁磁性层制备
（5）、电化学探针（STM）: 电学接触式和电学轻敲式
（6）、FIB大长径比探针：测半导体结构，专为测量深的沟槽（深孔）以及近似铅垂的侧面而设计生产的。 |
