德国Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏应用案例—深圳某事业有限公司

一、 电磁阀阀芯检漏原因:

    该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件激光焊接（电磁阀阀芯）,一共有5个型号,月产量2000-3000个阀. 精密零件激光焊接（电磁阀阀芯）产品如下图:

由于半导体工业上用的气体如硅烷( SiH4), 氨气(NH3)等等都是有毒或有腐蚀性的气体,所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求成品最终漏率低于5^-10 mbar l / s, 而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了.

二、 电磁阀阀芯检漏方法

    大概的检测过程为:来料用放大镜目视检测,激光焊接完成后再目视检测,最后用氦气质谱检漏仪做最后检测,漏率值以氦气检漏仪测出的数据为准.

    客户以前用的是日本某品牌的检漏仪,现在新上的项目都改为德国Pfeiffer的HLT 560这一款检漏仪,这是因为,只有德国Pfeiffer的HLT 560能满足这么高的漏率值测试,且数据可靠.另外还具有操作简单,生产效率高的优点.

三、电磁阀阀芯检漏操作说明

1),先将阀接入工装,形成一个密闭的腔体.再将检漏仪连接到工装上.

2),启动氦质谱检漏仪, 检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体,同时显示一个漏率值.

3),在激光焊缝和怀疑有漏的地方喷氦气,同时观察检漏仪上显示的漏率值有无变化.

4),如果漏率值上升,说明喷氦气的地方有漏,该被检对象质量不合格.如果漏率值能达到要求,该被检对象合格,检漏检测完成.
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