DEKATK150探针轮廓仪（台阶仪）DEKATK150的详细介绍
性能
扫描长度范围 55mm(2.1英寸)
每次扫描数据点 最多12万数据点
最大样品厚度 高达90 mm (4英寸)，取决于配置
最大晶圆尺寸 150 mm(6英寸)
台阶高度重现性 6埃
垂直范围：标准524um(0.02英寸)；可选1mm
垂直分辨率：最大1A（6.55um垂直范围下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
电源要求：
输入电压： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
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