仪器简介：

    Cascade Microtech 的 M150测量平台是一款结构简单、高精确度、多功能、及高性价比的150mm基准的探针台，解决了一系列的测量难题。该探针台采用了一种模块化设计，提供了众多的配置可能性，旨在满足诸如单切晶片至 150mm 晶圆、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。M150 可提供三种预配置的探针台，均针对您的应用及预算而优化。您可以通过确定最适合自己当前需要的 M150 模块来设计特有的探针台，或对自己现用的 M150 进行升级以满足未来的测量需求。

    优越的应用灵活性使得M150能满足DC和RF测量、器件和晶圆表征测试（DWC）、失效分析（FA）、亚微米探测、MEMS和光学工程测量；M150也能用作一个灵活的探头卡，实现wafer级的可靠性应用（WLR），能同时配备多达20个探针座。

技术参数：

基座 基本尺寸 含升高板的尺寸 面积 Z轴可移动范围 
标准平台 675mm x 675mm 825mm x 675mm 1960 cm2 5.5mm 
多功能平台 825mm x 675mm 847mm x 758mm 2700 cm2

X-Y-θ平台 XY范围 最小步长 θ范围 晶圆范围 
真空运行平台 155mm x 155mm 3μm +/- 60° 70mm 
标准平台 155mm x 155mm 2μm +45°(CCW) , - 90°(CW) 250mm 
快速运行平台 155mm x 155mm 1μm +45°(CCW) , - 90°(CW) 275mm

DUT支架 卡盘 基底 平整度 三轴接头 绝缘层 附加卡盘 
150mm卡盘 150mm真空卡盘 晶圆，陶瓷 ＜10μm Yes ＞100GΩ 2个独立的卡盘，且还有一个附加卡盘 
PCB 150mm宽支架 PCB，移动装置 NA NA NA NA

显微镜支架 移动范围（XY） Z方向 最小步长 
臂式支架 ＞150mm x 150mm NA NA 
LAHS显微镜支架 150mm x 150mm 可选，最大为100mm 2μm

主要特点：

 1. 结构简单、多功能；

2. 平台配置可满足DC、RF和亚微米测量；

3. 独特的模块化设计可根据客户的需要配置和升级；

4. 量程大、可配探针配件；