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  上海昭沅仪器设备有限公司  

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ET4000kosaka 台阶仪轮廓仪

公司名称: 上海昭沅仪器设备有限公司
参考价格: 600000
发布时间: 2016-02-29
产品描述:

 

ET4000Kosaka公司2000年推出的全自动接触式微细形状测定仪,具有高精确性、稳定性和重复性,可测量FPD、晶片、磁盘,和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度等。坚固的花岗岩材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度,并降低了地板噪音对测量的干扰。ET4000为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置,通过选配三维成像附件套装还可以极大地扩充仪器的功能。
ET4000kosaka 台阶仪轮廓仪的详细介绍

型号
ET4000M
ET4000A
ET4000L
最大样品尺寸
300x300mm
210x210mm
300x400mm
样品台
尺寸
320x320mm
220x220mm
540x400mm
X轴倾斜度
±1mm/150mm(机动倾斜)
Y轴倾斜度
——
±1mm/150mm(机动倾斜)
承重
2Kg
检出器
0.5μN-500μN(0.05mgf-50mgf)可调节
范围
100μm
驱动
LVDT直动式(差动变压器)
触针
ET-1479(R2μm)
ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm)
X轴
最大测长
100mm
直线度
0.005μm/5mm(0.1μm/100mm)
速度
0.005-2mm/s(定位速度10mm/s)
重复性
±5μm(定位)
Y轴
最大测长
——
150mm
400mm
直线度
——
5μm/150mm
重复性
——
±5μm(定位)
Z轴
最大测长
52mm
放大倍数
垂直
50-2000000
水平
1-10000
3D
——
可选择
θ轴
——
可选择
辅助功能
教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等
监控系统
摄像装置
1/2 inch CCD (768x494像素)
监视装置
视频捕捉板
应用
成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度
重复性
1σ0.5nm
电源
AC100V 800VA
外观尺寸
W660xD580xH660mm 200Kg
W930xD930xH790mm 380Kg

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