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公司名称:
上海昭沅仪器设备有限公司
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参考价格:
600000
元
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发布时间:
2016-02-29
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产品描述: |
ET4000是Kosaka公司2000年推出的全自动接触式微细形状测定仪,具有高精确性、稳定性和重复性,可测量FPD、晶片、磁盘,和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度等。坚固的花岗岩材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度,并降低了地板噪音对测量的干扰。ET4000为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置,通过选配三维成像附件套装还可以极大地扩充仪器的功能。 |
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ET4000kosaka 台阶仪轮廓仪的详细介绍
型号
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ET4000M
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ET4000A
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ET4000L
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最大样品尺寸
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300x300mm
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210x210mm
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300x400mm
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样品台
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尺寸
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320x320mm
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220x220mm
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540x400mm
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X轴倾斜度
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±1mm/150mm(机动倾斜)
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Y轴倾斜度
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——
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±1mm/150mm(机动倾斜)
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承重
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2Kg
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检出器
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力
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0.5μN-500μN(0.05mgf-50mgf)可调节
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范围
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100μm
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驱动
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LVDT直动式(差动变压器)
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触针
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ET-1479(R2μm)
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ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm)
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X轴
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最大测长
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100mm
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直线度
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0.005μm/5mm(0.1μm/100mm)
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速度
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0.005-2mm/s(定位速度10mm/s)
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重复性
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±5μm(定位)
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Y轴
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最大测长
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——
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150mm
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400mm
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直线度
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——
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5μm/150mm
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重复性
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——
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±5μm(定位)
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Z轴
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最大测长
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52mm
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放大倍数
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垂直
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50-2000000
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水平
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1-10000
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3D
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——
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可选择
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θ轴
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——
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可选择
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辅助功能
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教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等
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监控系统
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摄像装置
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1/2 inch CCD (768x494像素)
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监视装置
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视频捕捉板
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应用
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成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度
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重复性
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1σ0.5nm
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电源
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AC100V 800VA
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外观尺寸
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W660xD580xH660mm 200Kg
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W930xD930xH790mm 380Kg
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