产品特点：
● 采用双重闭环运动控制，电机在高速运动时具有精确的定位以及运动时的稳定性；
● 采用本公司开发的嵌入式模块控制电机，提高了电机响应速度，还简化了仪器与PC机的 接口，PC机与仪器通过USB线和S端子线连接；
● 采用花岗石平台，外观简洁大方；
● 表面光由独立四十八组光源组成，每一组均 为恒 流源驱动，连续可调；
● 配有我公司专用的全自动测量软件Mclns，大大提高测量效率。
| 仪器型号 |
VMS-3020CNC |
VMS-4030CNC |
VMS-5030CNC |
工
作
台 |
金属台面尺寸(mm) |
506×356 |
606×466 |
700×450 |
| 玻璃台面尺寸(mm) |
350×280 |
450×350 |
550×350 |
| 运动行程(mm) |
300×200 |
400×300 |
500×300 |
| 仪器重量(kg) |
140 |
240 |
290 |
| 外形尺寸(长X宽X高) (mm) |
770×590×1100 |
950×700×1100 |
970×670×940 |
| 镜头 |
日本SONY CCD |
| X、Y、Z数显解析度 |
1μm |
| X、Y坐标示值误差 |
≤(3+L/200)μm |
| 电机 |
| 伺服电机： |
日本 |
| 三轴运动速度： |
100mm/s |
| 三轴定位精度： |
0.001mm |
|
| 电源 |
AC110V/220V |
| 消耗功率 |
<100W（不包括电脑） |
