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测量显微镜广泛应用于半导体,电子工业进行晶体，集成电路的检验和精确测量。配备有冷光源光纤反射照明，成像和观察系统，偏光装置。
● 无限远光学系统,管镜焦距200mm
● 铰链式三目镜筒,30°倾斜，瞳距55-75mm
● 高眼点、视场目镜WF10X/22
● 五孔物镜转换器
● 长工作距离平场复消色差物镜
Plan Apo 2X/0.055 W.D. 34.6mm 分辨率5μm,
Plan Apo 5X/0.14 W.D. 45mm 分辨率2μm,
Plan Apo 10X/0.28 W.D. 34mm 分辨率1μm,
Plan Apo 20X/0.29 W.D. 30.8mm 分辨率1μm
Plan Apo 50X/0.42 W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm
● 调焦系统同轴粗微调焦机构,微动格值0.002mm
● 载物台 6″x8″双层活动平台,移动行程153x204mm
● 三维测量系统
分辨率： 1μm
测量精度: ±(2+L/200)μm
重复定位精度: 2μm
照明系统
● 冷光源光纤反射照明器：12V150W，特别明亮清晰
● 选配：
完善和全面的测量软件
--------完整的几何量测(如:点,线,圆,弧,角度等)
--------坐标系的设定，摆正,旋转
--------显示方式多样化；语言的转换，公英制单位的转换,角度的转换
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