美国VARIAN公司VS氦质谱检漏仪

VS系列氦质谱检漏仪

特性及优点

·多种语言和计量单位选择，可选中文界面

·135o 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术，金属密封结构

·新的电子线路及信号处理设计

·最小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程

·快速清氦和快速响应

·测试口耐压高，可实现大漏检漏

 技术规格

性能指标

PR02

MR15&MD30

性能

前级泵内置式

前级泵外置式及小车

前级泵        油式机械泵

DS-42 2 m3/hr (34 l/m)

DS-302 14 m3/hr (232 l/m)

涡卷式干泵

N/A

TS-620 30 m3/hr (500 l/m)

最小可检漏率在1000ppm的氦气背景下

5×10-12 atm cc/sec；

 5×10-12 mbar l/s；5×10-13 Pa m3/sec helium

测试口最高耐压

16 mbar，12 Torr，1600 Pa

测试口处对氦气抽速

1.8 l/s

校准程序

自动或手动（内置或外置）

氦本底清零

按键清零，并具有零点追踪功能

操作界面

高清晰彩显，TFT触摸屏

语言选择

中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语

循环检测

可编程粗抽时间/测试时间，设置报废点

响应时间

＜1.0秒

设定点

标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点

通讯协议

RS-232 通讯借口，9600波特率（9芯窜口）

执行标准

UL，CE，CSA