中科院微电子所将采购上亿元仪器设备

来源：未知转载 2010-11-19 点击1204次

自2010年1月20日起至2010年11月18日，中国科学院微电子研究所共发布十三批仪器设备采购项目招标公告，其中已发布中标及成交结果公告的信息统计如下：

包号	仪器设备名称	中标供应商名称	中标金额
第二批
第1包	等离子体喷涂实验系统	廊桥实业（香港）有限公司	52.876万美元
第三批
第1包	高分辨率场发射扫描电镜	天美（中国）科学仪器有限公司	107.0700万美元
第六批
第1包	等离子体增强化学气相沉积系统	伯东企业（上海）有限公司	19.7万美元
第七批
第2包	涂胶显影机	沈阳芯源微电子设备有限公司	295万人民币
第4包	步进光刻机	上海微高精密机械工程有限公司	398万人民币
第5包	光学轮廓仪	维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司	11.2万美元
第6包	电子束蒸发台	爱韩华（无锡）电子有限公司	165万人民币
第8包	全自动清洗机	弘塑科技股份有限公司	63万美元
第9包	等离子去胶机	Mattson Technology Inc	37.5万美元
第八批
第1包	信号分析仪	安捷伦科技新加坡销售（私人）有限公司	12.15万美元
第九批
第1包	超低能离子注入机	维利安精密仪器维修（上海）有限公司	199万美元
第2包	金属栅刻蚀机、氧化硅/氮化硅刻蚀机	Lam Research International Sarl	380万美元
第3包	化学机械研磨机	汉民科技股份有限公司	168万美元
第4包	单片清洗机、单片湿法腐蚀设备	Lam Research International Sarl	165万美元
第5包	单片清洗机	盛美半导体设备（上海）有限公司	44万美元
第十批
第1包	化学清洗线、蚀刻线、显影线、去膜线	铨億机械股份有限公司	50.5万美元
第2包	半自动曝光机	上海欧托科国际贸易有限公司	42.52万美元
第3包	机械钻孔机	金富宝亚太有限公司	13.80万美元
第5包	真空压膜机	联策科技（股份）有限公司	40.251万美元
第6包	封装基板等离子清洗机	盈泰国际（集团）有限公司	13万美元
第7包	精密压机	博可机械（上海）有限公司	14.58万美元
第8包	化铜线、镀铜线	安美特（中国）化学有限公司上海青浦分公司	人民币280万元
第十一批
第1包	半自动清洗机	北京七星华创电子股份有限公司	人民币160万元
第2包	扩散炉系统	北京七星华创电子股份有限公司	人民币405万元
第3包	多晶硅低压化学气相淀积系统	镭社有限公司	45.05万美元
第4包	膜厚仪	Spectramax International Limited	美元31.80万元
第6包	多晶硅刻蚀机	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	人民币1139.4942万元