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标项序号
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标项内容
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数量
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单位
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简要技术要求、用途
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备注
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11
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逻辑分析仪任意波形/函数发生器、同轴电缆
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8.0
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套
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12
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示波器探头、信号源、配套机架式服务器等
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3.0
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套
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13
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ICP等离子刻蚀
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1.0
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批
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14
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光刻机
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1.0
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批
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